SAL1000G ALD原子层沉积系统

型号：

SAL1000G

产地：

日本

SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子层沉积系统，具有良好的均匀性及优越的阶梯覆盖性能，使用户能够精确控制每个原子层的沉积。通过手套箱，可在惰性气体环境下进行操作，并且可以防止吸入纳米级颗粒。该设备是小型且经济实惠的型号，与主机和控制电源相结合，追求仅在桌面上更容易操作。 它能够处理多达4“晶圆的沉积，并对每个部件采取安全措施。

AGUS提供沉积测试服务作为我们支持的一部分，以提高实验准确性。请随时与凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司联系。

- 多样性 -

· 真空可移动的手套箱可以处理易氧化的样品。

· 前驱体标配两组阀门和气瓶。

· 可选择将前驱体加热至200摄氏度。

· 可选择基片自动旋转支架。

· 可选择粉体沉积配件。

· 可选择经济实惠的废气处理设备。

- 表现 -

· 保证基片表面上的每个均匀原子层针孔自由层沉积。

· 通过阶梯覆盖沉积在不均匀或3D形状的表面。

· 与CVD和PVD相比，可以获得更好的沉积，特别是对于具有更高纵横比和多孔沉积材料。

- 操作界面友好 -

· 触摸屏使用户可以轻松设置配方或沉积过程，并检查每个驱动系统的运动。

· 可进行自动沉积，并在沉积完成后自动完成N₂排放。

· 手套箱的真空排气和惰性气体的引入也可自动完成。

- 安全性 -

· 这是具有各种互锁功能的高级设备。

 - 具有轻柔关闭功能的顶部舱口使用户可以轻松地装载和卸载基片。

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途