Carbon Coater 镀碳仪 108C Auto

型号：

108C

产地：

美国

   108C Auto镀碳仪是一个紧凑的，易于使用的镀碳仪，主要用来给不导电的样品镀一层碳膜，用于扫描电镜能谱分析的zui成熟的镀碳仪之一。

主要特性

l  独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。

l  108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。

l  使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

l  可选择手动或自动方式操作。

l  自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。

l  可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％。

技术参数
样品室大小	直径120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
蒸发源	Bradley型 (6.15mm   rods),高强度不锈钢结构
蒸发控制	基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能，zui大电流180A，提供过流保护
样品台	可装置12个样品座，高度在30mm范围内可调
模拟计量	真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A
厚度监控	MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)
控制方法	自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时间 以脉冲或连续方式进行完全手动控制 数字定时器（0－10s） 数字电压设置（0.1 to 6.0V）
真空系统
真空泵	2级直连式高速真空泵
抽气速率	3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒.
极限真空	5 x 10-3mba
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装：是

保修期：1年

是否可延长保修期：否

保内维修承诺：仪器安装验收后1年内，免费保修（免费质保期期限起计方式：产品自验收合格之日起计算

报修承诺：报修后需预约上门时间

免费仪器保养：无

免费培训：有

现场技术咨询：有