1200℃预加热滑动双多温区PECVD系统

型号：

1200℃预加热滑动双多温区PECVD系统

产地：

天津

产品应用：

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成：

PECVD系统配置：

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配置管内测温系统。

3.预加热开启式管式电炉

4.等离子射频电源

5.多路质量流量控制系统

6.真空系统（可选配中真空或高真空）  

产品特点：

生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装：否

保修期：1年

是否可延长保修期：否

保内维修承诺：参考合同条款

报修承诺：参考合同条款

免费仪器保养：参考合同条款

免费培训：参考合同条款

现场技术咨询：无