- 产地:
- 日本
- 型号:
- SI-F80R
分光干涉式位移计是一种测量物体位移的重要仪器。其基本原理是利用分光干涉技术,通过将测量光线分成两条,使其分别经过不同的光程,再把它们合并在一起,产生干涉条纹。
采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。
产品特性即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
可在生产线上进行测量
自动映射整个晶片的厚度分布
精确的只测量晶片厚度
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分光干涉式位移计是一种测量物体位移的重要仪器。其基本原理是利用分光干涉技术,通过将测量光线分成两条,使其分别经过不同的光程,再把它们合并在一起,产生干涉条纹。
采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。
产品特性即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度
大幅降低图案的影响
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