激光诱导击穿光谱（LIBS）测试系统
卓立汉光手持式拉曼光谱仪 应用于石
zolix|定制化原位显微光谱测试系统
NAP系列气浮隔振光学平台
180°翻转安装座卓立汉光
OmniFluo990-ST超快时间分辨光谱测
ZVI-VB系列真空主动隔振平台-卓立汉
“谱王”系列光栅单色仪 / 光谱仪
- 产地：
- 北京
- 型号：
- 半导体晶圆微操作、检验设备
产品概述
说明：
此系统是卓立汉光推出的针对半导体晶圆进行微操作、检验的通用开发平台。系统中包括：半导体晶圆装夹单元、半导体晶圆对位单元、机器视觉单元和微操作机械手单元，配套有完整的运动控制系统和机器视觉软件。可以根据客户不同的需求，实现对半导体晶圆进行装夹、对位、转印、清洁、检验等功能。
半导体晶圆微操作、检验设备特点：
系统包含完整的装夹和对位结构，可以根据客户实际需求定制
控制系统和机器视觉系统留有二次开发接口
兼容客户不同的晶圆结构，不同的Mark点图形、进行不同的操作动作
可对半导体晶圆进行多维度微步调整
多工位配置，提高工作效率
系统参数：（本系列产品为设计规格，技术指标以最终发布内容为准）
|
指标 |
参数 |
|
机器视觉分辨率(μm) |
0.1 |
|
显微镜倍率 |
0.5~4.5 |
|
摄像头分辨率 |
2048×1536 |
|
最高帧率（fps） |
15 |
|
摄像头类型 |
单色 |
|
光源 |
单色同轴光源 |
|
Mark点识别重复性(μm) |
0.1 |
|
Mark点识别对位精度(μm) |
<0.5 |
|
大行程X轴滑台行程（mm） |
400 |
|
大行程Y轴滑台行程（mm） |
200 |
|
大行程重复定位精度（μm） |
1 |
|
大行程运动分辨率（μm） |
±1 |
|
精密对位X轴滑台行程（mm） |
10 |
|
精密对位Y轴滑台行程（mm） |
10 |
|
精密对位Z轴滑台行程（mm） |
20 |
|
精密对位线性维度单向重复定位精度（μm） |
±1 |
|
精密对位线性运动分辨率（μm） |
0.1 |
|
精密对位θZ轴滑台行程（°） |
5 |
|
晶圆工位（个） |
2 |
|
晶圆真空吸附通道（路） |
4 |
半导体晶圆微操作、检验设备由北京卓立汉光仪器有限公司 为您提供，如您想了解更多关于半导体晶圆微操作、检验设备报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。
鲁公网安备37021402001368号