金颗粒标样30 - 300nm,低加速电压分辨率测定标样

产地：

英国

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标准的金球或锡球分辨率测定标样不适用于低加速电压下或者老旧仪器中的测试，可能导致此问题的原因是低加速电压下采用高计数率和小束斑直径测样时得到的分辨率较差、信噪比过低。较大的标样粒径（30 - 300nm）在分辨率测试时可以在保留图像细节的同时确保较高的对比度，此特性使得此标样可以在非理想条件下使用。

可镶嵌于Zeiss,FEI,TESCAN,JEOL和Hitachi扫描电镜各自的样品台上。

此分辨率测试标样粒径分布为30-300nm，与标样AGS168相比，更大的金粒尺寸允许此标样用于低加速电压下的分辨率校准。

生长于石墨衬底上的金颗粒之间有间隙，尺寸不一，可以实现非理想操作条件下的分辨率测试，基于此特性，此标样也可以用于高分辨率测试条件下的灰度校准。理想条件下，高分辨率扫描电镜可以给出高质量的间隙分辨率测试和灰度校准结果。搭配中等分辨率的电镜使用此标样可获得尚可使用的间隙分辨率，但灰度区分不明显，只能呈现4-5级。因为标样颗粒的几何形状不规则，二次电子模式下的差分信号采集会导致灰度对比出现。

大颗粒之的细小颗粒和间隙，可以用于更准确地评估电镜的成像质量。评估二次电子成像质量时，将标样倾斜，与二次电子收集装置成30°角时可得到质量最好的像。采集背散射电子时样品台的倾角则由探测器的位置决定。但若样品与探测器之间的倾角大于35°，标样上大块的金粒会产生较大的投影，会遮蔽标样上较小的金粒，因此不推荐。此外，测量金粒之间的间隙尺寸时须注意样品的倾角会影响图像的放大倍数。

当放大倍数在2,000倍以上时金粒可见，最佳工作距离是7-8mm。使用钨灯丝电镜时，先用20kV的加速电压观察样品，再逐步降低加速电压和束斑直径聚焦调节至合适的聚焦状态和明度。工作时需确保电子枪、灯丝、光阑孔准直，电子束须汇聚、明度适当、束流稳定。当线扫描分辨率调至最高、测试时间较长时（在部分仪器中此时间可达10min）可得到较高的信噪比。

【技术详情】

标样

粒径分布

金颗粒标样

30-300nm

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