- 产地:
- 英国
- 型号:
- OmniProbe 200
这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。
闭环系统
方案
选项同轴旋转功能
同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。
可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。
在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。
自动化系统
电脑和显示器;
2U机架式以太网控制器;
带有100nm线性反馈的3轴样平台;
运动控制软件界面;
用户手册和安装指南。
特色和优点包括第8代具有创新性的先进技术;
实现从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用;
3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性);
在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航;
将样品快速旋转到特定角度;
可以大范围内执行平稳而精确的操作;
即使在视野外也始终知道探头尖端的位置;
在任意端口安装都可以预测移动行为;
可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率;
避免碰撞;
气动插入/回缩链接到电镜软件(取决于OEM);
内置能力,可为针施加最大+/- 10 V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用。
同轴旋转功能同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。
可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。
在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。
自动化系统电脑和显示器;
2U机架式以太网控制器;
带有100nm线性反馈的3轴样平台;
运动控制软件界面;
用户手册和安装指南。
使用下面比较表帮助您为应用选择最佳的OmniProbe并比较指标。
| SPECIFICATION | OMNIPROBE | ||
| Cryo | OmniProbe 350 | OmniProbe 400 | |
| Linearity | 500 nm | 500 nm | 250 nm |
| Encoder resolution | 100 nm | <50 nm | 10 nm |
| Insertion repeatability | 5 μm | 5 μm | 2 μm |
| Min velocity | 100 nm/s | 50 nm/s | 10 nm/s |
| Max Velocity | 250 μm/s | 250 μm/s | 500 μm/s |
| Compucentric rotation | ✘ | ✘ | ✔ |
| APPLICATION | |||
| Site specific lift-out | ✔ | ✔ | ✔ |
| Plan-view | P | P | ✔ |
| Vent free plan-view | ✘ | ✘ | ✔ |
| Backside Thinning | ✘ | ✘ | P |
| Atom Probe tomography sample preparation | P | P | ✔ |
| Cryogenic liftout | ✔ | ✘ | ✘ |
| Voltage contrast imaging | ✔* | ✔ | ✔ |
| Charge neutralisation | ✔ | ✔ | ✔ |
| On-Tip analysis | ✘ | ✘ | ✔ |
| EBIC measurements | ✘ | O | O |
| EBAC measurements | ✘ | O | O |
| In Situ tip change | ✘ | O | ✔ |
P: 需要OmniPivot样品台 O: 选配项 * 当连接低温时不行
OmniProbe 200由牛津仪器科技(上海)有限公司 为您提供,如您想了解更多关于OmniProbe 200报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。





















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