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OmniProbe 200

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品牌名称
牛津仪器
厂家区域
上海
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产品详情
产地:
英国
型号:
OmniProbe 200

这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。

闭环系统

方案

选项

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。

在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。

自动化系统

电脑和显示器;

2U机架式以太网控制器;

带有100nm线性反馈的3轴样平台;

运动控制软件界面;

用户手册和安装指南。

特色和优点

包括第8代具有创新性的先进技术;

实现从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用;

3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性);

在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航;

将样品快速旋转到特定角度;

可以大范围内执行平稳而精确的操作;

即使在视野外也始终知道探头尖端的位置;

在任意端口安装都可以预测移动行为;

可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率;

避免碰撞;

气动插入/回缩链接到电镜软件(取决于OEM);

内置能力,可为针施加最大+/- 10 V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用。

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。

在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。

自动化系统

电脑和显示器;

2U机架式以太网控制器;

带有100nm线性反馈的3轴样平台;

运动控制软件界面;

用户手册和安装指南。

使用下面比较表帮助您为应用选择最佳的OmniProbe并比较指标。

SPECIFICATION                                                   OMNIPROBE
CryoOmniProbe 350OmniProbe 400
Linearity500 nm500 nm250 nm
Encoder resolution100 nm<50 nm10 nm
Insertion repeatability5 μm5 μm2 μm
Min velocity100 nm/s50 nm/s10 nm/s
Max Velocity250 μm/s250 μm/s500 μm/s
Compucentric rotation
APPLICATION
Site specific lift-out
Plan-viewPP
Vent free plan-view
Backside ThinningP
Atom Probe tomography sample preparationPP
Cryogenic liftout
Voltage contrast imaging✔*
Charge neutralisation
On-Tip analysis
EBIC measurementsOO
EBAC measurementsOO
In Situ tip changeO

P: 需要OmniPivot样品台 O: 选配项 * 当连接低温时不行

OmniProbe 200由牛津仪器科技(上海)有限公司 为您提供,如您想了解更多关于OmniProbe 200报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。

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