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纳米级白光干涉三维形貌仪

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品牌名称
中图仪器
厂家区域
广东深圳市
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深圳市中图仪器股份有限公司

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产品详情
产地:
深圳
型号:
SuperViewW系列

SuperView W1系列纳米级白光干涉三维形貌仪用数据、案例、服务三重保障,为精密制造、科研检测等领域提供高精度+高效率+高适配的3D表面测量解决方案。如需获取行业定制化方案、产品演示视频或免费样品测试,欢迎联系中图仪器。

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一、核心功能

1.自动化测量:操纵杆便捷操控,Mark点自动定位校正,单/多区域一键扫描分析。

2.数据处理:去噪、滤波等四大模块+五大分析功能,支持定制化模板批量处理。

3.安全保障:双重镜头防撞+光源自动熄灯设计,设备损耗率降低40%。

4.灵活配置:10×干涉物镜(可选2.5×-100×),320×200mm载物台适配不同尺寸工件。


二、核心优势

1.精度硬核可量化:形貌重复性低至0.1nm,粗糙度RMS重复性0.005nm,台阶测量准确度仅0.3%,远超行业平均水平;搭配气浮隔振底座与0.1nm分辨率环境噪声评价,复杂车间环境也能稳定输出精准数据。

2.效率翻倍降成本:W1-Ultra型号0.1nm分辨率下扫描速度达8μm/s,单区域测量一键完成,批量样品可通过阵列式多区域测量+编程预设流程,实现“无需值守"自动化检测,某3C电子企业应用后,日均检测量从200件提升至500件。

3.全场景适配无压力:单一扫描模式覆盖超光滑到粗糙、全透明到黑色材质,支持10mm Z向扫描范围与数千张图像无缝拼接,某半导体厂商用其检测研磨减薄工件,成功解决“大范围扫描+高精度要求"双重难题。

4.软件生态强适配:自研Xtremevision Pro平台支持多机型自动识别,白光干涉与共聚焦模式自由切换,300+种ISO/ASME/EUR/GBT标准参数,满足不同行业检测合规要求。


三、应用案例

1.半导体制造:为某头部半导体企业提供研磨减薄工艺检测方案,精准测量硅晶片表面粗糙度(Sa=0.2nm)与槽道形貌,连续10次测量STR重复性稳定在0.1nm,助力工艺良率提升8%。

2.3C电子:适配手机玻璃屏粗糙度检测、金属壳模具瑕疵识别、油墨屏高度差测量,某手机代工厂应用后,批量检测效率提升60%,报表自动导出(Word/Excel/PDF)满足质检存档需求。

3.光学加工:针对纳米台阶、光学元件粗糙度测量,实现916.5nm台阶高度精准量化,某光学厂商反馈“测量数据与国际标准样块偏差<0.1%",大幅降低产品返工率。

4.汽车零部件:检测精密齿轮表面磨损、轴承孔隙间隙,在车间振动环境下仍保持数据稳定,某车企通过批量分析功能,将零部件质检周期从2小时缩短至30分钟。

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恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

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