- 产地:
- 深圳
- 型号:
- SuperViewW系列
中图仪器SuperViewW光学表面轮廓仪系统一体化高精度测量粗糙度与轮廓度。它以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
一、行业应用
1.半导体制造:适配硅晶片研磨减薄后的粗糙度检测、光刻槽道轮廓测量,助力头部企业工艺良率提升8%,检测数据通过国际标准认证,满足供应链合规要求。
2.3C电子:精准测量手机玻璃屏粗糙度、金属壳模具瑕疵、油墨屏高度差,批量检测报表支持Word/Excel/PDF格式自动导出,适配供应链质检存档需求。
3.光学加工:量化纳米台阶高度、光学元件表面轮廓,916.5nm台阶测量重复性达0.08%,帮助企业产品合格率从92%提升至99.2%。
4.汽车零部件:检测精密轴承孔隙间隙、齿轮表面磨损轮廓,在复杂车间环境中保持数据稳定,某车企质检周期缩短50%。

二、核心配置
1. 自研软件平台:Xtremevision Pro支持多机型自动识别,白光干涉与共聚焦模式自由切换,可直接测量微观轮廓的距离、角度等参数。
2. 灵活硬件配置:320×200mm载物台(负载10kg),标配10×干涉物镜,可选2.5×-100×镜头,适配不同尺寸、类型工件。
3. 安全与便捷:集成式操纵杆控制XYZ轴、速度及光源亮度,急停功能一键触发,新手培训1天即可独立操作。
三、性能特点
1.超高精度,数据可追溯:基于白光干涉技术,形貌重复性低至0.1nm,粗糙度RMS重复性仅0.005nm,台阶测量准确度达0.3%。搭配0.1nm分辨率环境噪声评价与气浮隔振底座,即便在车间振动环境中,也能输出稳定可靠的数据,满足ISO/ASME等300余种国内外标准要求。
2.高效自动化,降本增效:W1-Ultra型号在0.1nm分辨率下扫描速度高达8μm/s,单区域、多区域测量一键启动,批量样品可通过编程预设流程实现自动化检测。某3C电子代工厂应用后,检测效率提升60%,日均处理样品量从300件增至480件,人力成本降低30%。
3.全场景适配,无需频繁换设备:单一扫描模式覆盖超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质,10mm Z向扫描范围搭配方形、圆形等多种自动拼接模式,支持数千张图像无缝拼接,轻松应对半导体研磨件、3C玻璃屏、光学元件等不同类型工件的测量需求。
4.自研软件,适配性更强:Xtremevision Pro第二代3D测量软件,可自动识别中图W/VT/WT系列机型,支持白光干涉与共聚焦模式自由切换,能直接测量微观平面轮廓的距离、角度等参数,搭配批量分析与多格式报表导出功能,适配质检存档与工艺优化全流程。

SuperViewW光学表面轮廓仪系统为精密制造、科研检测等领域提供高精度+高效率+高适配的3D表面测量解决方案。如需获取行业定制化方案、产品演示视频或免费样品测试,欢迎联系中图仪器。
(注:产品参数与配置可能因技术升级调整,具体以实际沟通为准。)
光学表面轮廓仪系统由深圳市中图仪器股份有限公司 为您提供,如您想了解更多关于光学表面轮廓仪系统报价、参数等信息 ,欢迎来电或留言咨询。




















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