马尔文帕纳科X'Pert³ MRD X射线衍射仪

产地：

英国

型号：

X'Pert³ MRD

马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪其可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力，提供一体化解决方案来满足不同需求和应用：

• 半导体和单晶晶圆：倒易空间探索、摇摆曲线分析

• 多晶固体和薄膜：织构分析、反射测量

• 超薄薄膜、纳米材料和非晶层：掠入射物相鉴定、面内衍射

• 非常温条件下的测量：随温度和时间变化的峰高

X'Pert³MRD 经过专门设计，符合现代材料研发实验室的要求。X'Pert³MRD 的开发重点考虑了薄膜应用的需要，因此提供了多种样品架，可容纳直径达 200 mm 的晶圆，亦能用于晶圆表面的多点扫描。其大型样品台可以装载多个样品。

X'Pert³ MRD 将新技术融入到了测角仪轴承设计和位置编码中，从而提高了整体性能。在测角仪轴承上应用的创新成果改进了黏滑行为，即使是在高负载条件下，也能够极其流畅地作旋转移动。在 omega 和 2theta 轴上使用了一流的 Heidenhain 光学编码器，因而改进了短距离和长距离准确性，并且同时提高了位置报告和测角仪定位的速度。

X'Pert³ MRD 的欧拉环样品台可实现高精度、可重复且无障碍的移动，方便进行样品旋转、倾斜以及 x 轴、y 轴和 z 轴平移，确保为要求严格的 XRD 应用实现用途广泛且准确的样品定位。

马尔文帕纳科的 PreFIX（预校准且可快速更换的 X 射线模块）概念使 MRD 能够在无需重新校准的情况下进行更换配置。当实验要求发生改变时，可以轻松添加新的 PreFIX 组件，这使得整套方案变得灵活、快速且能满足未来的需要。可提供选择丰富的 PreFIX 模块，包括：

X 射线平行光反射镜

复晶单色器

高分辨率四晶单色器

多毛细管透镜

程控和固定的发散及防散射狭缝

交叉狭缝和单毛细管光学器件

马尔文帕纳科的探测器产品组合在不断发展。PIXcel^3D 探测器具有在半导体和薄膜应用中的特殊优势，该探测器具备完整的多功能性，允许实现高动态范围的测量，而无需进行光束衰减。PIXcel 探测器可用于各类应用需求，可以轻松地将它从 0D 接收狭缝模式切换为 1D 和 2D 静态及扫描模式。