NPC-3500 (A) 全自动等离子清洗机去胶机

型号：

NPC-3500 (A)

产地：

美国

Plasma Cleaner等离子清洗/去胶机

NPC-3500（A）全自动等离子清洗/去胶机概述：NANO-MASTER 等离子清洗和灰化系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具,具有独一无二的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。

NPC-3500（A）全自动等离子清洗/去胶机产品特点

紧凑型立式系统

自动上下载片

带Load Lock

不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔

兼容100级超净间使用

淋浴头、ICP或微波等离子源

旋转样品台

RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台

全自动或手动RF调谐

zui多可支持5个MFC带电抛光的气体管路

PC计算机控制的气动阀

带密码保护的多级访问控制

基于LabView软件的PC计算机全自动控制

机械泵的压力可达到10mTorr

250 l/s的涡轮分子泵

极限真空为5x10-7Torr

完整的安全联锁

NPC-3500（A）全自动等离子清洗/去胶机应用：

有机物以及无机物的残留物去除

光刻胶剥离或灰化

去残胶以及内腐蚀(深腐蚀)应用

清洗微电子元件，电路板上的钻孔或铜线框架

提高黏附性，消除键合问题

塑料的表面改型：O2处理以改进涂覆性能

产生亲水或疏水表面

NPC-3500（A）全自动等离子清洗/去胶机Features：

Stand Alone System

Auto wafer Load/Unload with load lock

Stainless Steel, Aluminum or Bell Jar Chambers

Class 100 Clean Room Compatible

Shower Head, ICP or Microwave Plasma Sources

Rotating Platen

RF Biasable Heated up to 300 °C PID Controlled or Cooled Platen

Fully Automated or Manual RF tuning

Up to 5 Mass Flow Controllers with Electropolished Gas Lines

PC Controlled Pneumatic Valves

Multiple Levels of Access with Password Protection

PC Controlled with LabVIEW

Mechanical Pump with Pressure goes to 10 mTorr 

250 l/sec Turbomolecular Pump

5x10-7 Torr base Pressure

Fully Safety Interlocked

NPC-3500（A）全自动等离子清洗/去胶机Applications:

Removal of Organic and Inorganic Materials without Residues

Photoresist Stripping or Ashing

Desmearing and Etch Back Applications 

Cleaning Microelectronics, Drilled Holes on Circuit Boards or Cu Lead frames

Adhesion Promotion, Elimination of Bonding Problems

urface Modification of Plastics: O2 Treatment for Paintability

Producing Hydrophilic or Hydrophobic Surfaces




注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途