企业名片特征概览:
用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统，检测范围：0-100，0-200和0-300amu
允许7天24小时连续监控，提高产品良率及产能，降低生产成本
紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
HexBlock TM 取样系统使系统性能最佳化
内置压力传感器（CDG），用于工艺压强监测和提供联锁保护
备用可选的标准气体，用于调谐和校正
封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体，并可检测ppm量级的污染物
重量轻，易搬运
应用：
高压强真空系统（< 2个大气压）检漏，气体纯度，污染检测，工艺制程监控及刻蚀终点探测 （Endpoint），涉及领域：材料，传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀系统
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