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| 产品名称： | Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire) |
常规尺寸： | dia100;单抛
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技术参数： | Si晶向：<100> Si掺杂类型：本征；不掺杂 Si厚度：0.6um +/- 0.06 um Si电阻率：> 100 ohm.cm Al2O3基片：R plane with single flat Al2O3尺寸：dia100 x 0.53 mm 平面度（flatness）：10um 平行性（Parallelism)：20um 抛光情况：单抛Projected C-Axis: 45 degree +/- 2 degree 备注：可按照客户要求在C plane Al2O3上镀Si |
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