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含滑轨法兰的管式炉--OTF-1200X-SF

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品牌名称
合肥科晶
厂家区域
安徽合肥市
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所在地区:安徽 合肥市

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合肥科晶材料技术有限公司

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产品详情
产地:
安徽
型号:
OTF-1200X-SF

OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,最高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。

 

技术参数

炉体结构

炉管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)

最高工作温度为1100℃

右端安装有一水冷滑轨法兰,以便于放样和取样

在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰

左端水冷法兰上有个气体接口,用于客户通入反应气体(点击图片查看详细资料)

 

电源

单相, 220V AC, 50/60 Hz

最大功率    

3.6KW(需要20A的空气开关)

加热区

主反应炉:440mm

恒温区:100mm

温控系统

采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序

采用K型热电偶

控温精度:+/- 1℃

可选购控温软件,可通电脑来设置和显示温度程序

  

密封法兰

右端法兰:

水冷却法兰,通过冷却循环水对密封圈进行水冷(可在本公司购买循环水冷机)

法兰上有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接

炉体内的样品台与法兰相连接,并且右端法兰为滑轨法兰,以便于放样和取样

法兰上安装有一数显防腐真空计(如下图)

净重

100kg

尺寸

 

右端法兰关闭时的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)

右端法兰打开时的最大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)

质保

一年质保期,终身维护(不包含炉管、密封圈和加热元件)

质量认证

质量认证

所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL认证

本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证

     

注意事项

炉管内气压(相对气压)需小于0.02MPa

所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买减压阀)

当设备温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态,需处于常压或微正压状态

进气流量需小于200sccm



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