赛默飞（原FEI）Helios 5 DualBeam 双束扫描电镜 增强的稳健性

样品制备与XHR扫描电镜成像

最终样品制备(TEM薄片，APT)

STEM亚纳米成像与样品制备

SEM

着陆电压

20ev-30kev

20ev-30kev

分辨率

0.6nm@15kev

1.0nm@1kev

0.6nm@2kev

0.7nm@1kev

1.0nm@500ev

STEM

分辨率@30kev

0.7nm

0.6nm

0.3nm

FIB制备过程

最大材料去除束流

65nA

100nA

65nA

最终最优抛光电压

2kv

500v

TEM样品制备

样品厚度

50nm

15nm

7nm

自动化

否

是

是

样品处理

行程

110×110

×65mm

110×110

×65mm

150×150

×10mm

100×100

×20mm

100×100×

20mm+5轴（S）TEMCompustage

负载锁

手动

自动

手动

自动

自动+自动插入/提取STEM杆

离子光学

具有优越的高电流性能的Tomahawk HT 离子镜筒

具有优越的大电流和低电压性能的Phoenix离子镜筒

离子束电流范围

1 pA – 100 nA

1 pA – 65 nA

加速电圧

500 V – 30 kV

500 V – 30 kV

最大水平视场宽度

在光束重合点时为0.9 mm

在光束重合点时为0.7 mm

离子源寿命

1,000 hours

1,000 hours

两级差动泵

两级差动泵

飞行时间矫正

飞行时间矫正

15孔光阑

15孔光阑

电子光学

Elstar超高分辨率场发射镜筒

Elstar超高分辨率场发射镜筒

磁浸没物镜

磁浸没物镜

高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流

高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流

电子束分辨率

最佳工作距离下

0.6 nm at 30 kV STEM

0.6 nm at 30 kV STEM

0.6 nm at 15 kV

0.7 nm at 1 kV

1.0 nm at 1 kV

1.0 nm at 500 V (ICD)

0.9 nm at 1 kV 减速模式*

在束流重合点

0.6 nm at 15 kV

0.6 nm at 15 kV

1.5 nm at 1 kV 减速模式* and DBS*

1.2 nm at 1 kV

电子束参数

电子束流范围

0.8 pA to 176 nA

0.8 pA to 100 nA

加速电压范围

200 V – 30 kV

350 V – 30 kV

着陆电压

20 eV – 30 keV

20 eV – 30 keV

最大水平视场宽度

2.3 mm at 4 mm WD

2.3 mm at 4 mm WD

探测器

Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE)

Elstar i镜筒内SE/BSE 探测器 (ICD)*

Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)*

样品室内Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)

红外相机

高性能离子转换和电子探测器(SE)*

样品室内样品导航彩色光学相机Nav-Cam Camera*

可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器(DBS)*

可伸缩STEM 3+ 探测器*

电子束流测量

样品台和样品

样品台

灵活五轴电动

压电驱动XYR轴的高精度五轴电动工作台

XY

110 mm

150 mm

Z

65 mm

10 mm

R

360° (连续)

360° (连续)

倾斜

-15° to +90°

-10° to +60°

最大样品高度

与优中心点间隔85mm

与优中心点间隔55mm

最大样品质量

样品台任意位置500 g

样品台任意位置500 g

 0° 倾斜时最大5kg

最大样品尺寸

直径110 mm可沿样品台旋转时

直径150 mm可沿样品台旋转时

优中心旋转和倾斜

优中心旋转和倾斜