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- 产地：
- 荷兰
- 型号：
- Meridian EX
基于电子束的创新解决方案，用于在高级逻辑设备中精确定位缺陷。与光学方法相比分辨率提高了 10倍，确保了对最先进的半导体器件进行快速、准确和可靠的缺陷分析。
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