ZDL-14/0B6真空计用于半导体

产地：

北京

型号：

ZDL-14/0B6

真空计原理

真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多,这里介绍的复合真空计是常见的一种,复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。可用于半导体、电子元件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理。

菜单式按键操作模式、操作简单、便捷；

全新硬件及软件设计，稳定可靠、抗干扰能力强；

轻量化设计，重量轻；

产品适用电压范围宽、环境适应性强，可在全球范围内适用；

产品智能化程度高，通讯协议、模拟量、控制点可自由设定。

产品特性

1、 B5/B6/B7系列为全新一代升级型产品，全新的菜单式按键操作模式、全新的外观配色设计、采用新材料全金属化屏蔽机箱，具有抗干扰能力强，智能化程度高，保护功能完善，工作可靠等特点；

2、 轻量化设计，去掉重量，保留质量。

3、 B5/B6/B7系列真空计采用全新的电路架构，大量使用新技术、新器件，使得电路结构简单、稳定可靠、通用性强、具有相当大的扩展性；

4、 B5/B6/B7系列真空计摒弃笨重变压器供电方式，采用当下流行的开关电源，使得真空计具备体积轻、抗干扰能力强、适用电压范围宽、环境适应性强的特点，可在全球范围内适用，可在对EMC有较高要求的环境下使用；

5、 电阻单元零点的校准采用按键式调节，满度采用一键校准方式，大的提升操作的便捷性。

6、 RS-485通讯采用MODBUS-RTU协议，可自由设置地址、波特率、校验位等相关参数；

7、 电阻启动和关闭电离的值可以自主设定；

8、 模拟量输出公式有分段线性和对数关系，可以使用正向输出和反向输出模式，均可自主设置；

9、 控制点可在电阻和电离单元之间任意设定。

技术指标

测量范围：1.0×10^-1～1.0×10^-7（Pa）

有效范围：1.0×10^-1～5.0×10^-6（Pa）

参考范围：5.0×10^-6～1.0×10-^7（Pa）

配接规管：ZJ-14

测量路数：1路

显示路数：1路

显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例1.2E-1，表示1.2×10^-1（Pa）

控制路数：2路

控制范围：1.0×10^-1～1.0×10^-7（Pa）

控制方式：点控或区域控制（带掉电记忆）

控制点负载：AC220V/3A;DC28V/10A

工作电源：AC220V±10%/50Hz/45W

重量：约3KG

模拟输出：0-5V

通讯接口：RS-485(MODBUS-RTU协议)

尺寸

机箱尺寸：240*88*330(长*宽*深)（mm）

安装开孔尺寸：200*80(长*宽)（mm）

ZDL-14/0B6真空计用于半导体由北京中科科仪股份有限公司 为您提供，如您想了解更多关于ZDL-14/0B6真空计用于半导体报价、参数等信息 ，欢迎来电或留言咨询。