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FSM128非接触薄膜应力测试

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品牌名称
FSM
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上海
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产品详情
型号:
FSM128/FSM413/FSM127
产地:
美国

美国FSM应力仪

-----应力测试专家,为行业首选应力仪!

 

  Semi-Auto(半自动)              Fully-Auto(全自动)

 

* 自动切换的双光路波长:650纳米和780纳米

* 测量方式:直径方向的扫描,可提供形貌图

* 扫描范围:对于200mm的硅晶圆为194mm

* 3-D形貌图:测量台有旋转功能,可通过控制软件中的参数输入来旋转测量台,以完成形貌图的测量(至少需要测量6个方向的扫描)

* 测量的硅晶圆尺寸: 200mm

* 应力测量的范围:1X107 dynes/cm2 至 4X1010 dynes/cm2(对于典型的硅晶圆)

* 测量数据输出:测量数据表格为客户提供的参数包括,料盒的编号、晶圆的编号、测量次数的编号、应力数值、晶圆曲率半径的数值、晶圆基片的厚度和镀膜的厚度,以及测量时间。测量数据可选择输出为Excel格式,文本文档格式,同时可以输出样品形貌图

* 客户包括Intel,Samsung,LG IBM等等。

 


有任何需要请联系赛伦科技(上海,北京都有办事处)


注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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