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Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

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产品详情

型号：: Talysurf CCI

产地：: 英国

仪器简介：
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（zhuan利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

技术参数：
(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

主要特点：
•zhuan利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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