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超纯水中的杂质快速超痕量分析 NexION 5000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱

日期:2024-05-28 21:57:56     浏览:212    下载:1     体积:1.98M    

  【仪器网 行业应用】本应用摘要证明了NexION 5000多重四极杆ICP-MS能够获得卓越的DLs和BECs,包括元素Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Co、Cu和Zn,并可以在ppq水平上准确定量这些元素。同时发现,NM-H2 Plus氢气发生器生成的反应气可以达到半导体应用所需的纯度水平,而不会造成任何与实验室氢气气瓶使用相关的潜在安全危险。使用此气体和单个等离子体模式(冷等离子体)可使每个样品的分析时间低至116秒,从而满足半导体实验室对超纯水分析的快速响应需求。

超纯水中的杂质快速超痕量分析

  实验条件

  样品制备

  使用超纯水(18.27MΩ.cm-1)制备所有的kong白溶液和标准溶液。在超纯水中,从浓度为1ppb的中间体储备液中制备出浓度为5、10、20和40 ppt的标准溶液。从多元素有证储备液(10 ppm,多元素标准溶液,生产商:珀金埃尔默公司,地址:美国康涅狄格州谢尔顿)中制备出中间体储备液。

  方案

  按表1所示条件,使用NexION 5000多重四极杆ICP-MS(制造商:珀金埃尔默公司,地址:美国康涅狄格州谢尔顿)进行所有分析。通过四极杆离子偏转器(Q0),此多重四极杆ICP-MS能够控制进入离子透镜系统高真空区域的质量范围,使整个系统更加清洁。之后,在di一个四极杆质量分析器(Q1)中对离子进行质量分离,只有选定的质量数被允许进入通用池(Q2)。这样,分析物离子和干扰在池内发生受控的反应。

  反应副产物在有机会发生反应并形成新的干扰之前被排除。之后,在第二个四极杆质量分析器(Q2)中选出分析物质量,以供检测。使用NM-H2 Plus氢气发生器(制造商:珀金埃尔默公司,地址:美国康涅狄格州谢尔顿),以满足输送速度要求;产出的H2纯度为99.9999%,超出ICP-MS应用对H2的纯度要求。据发现,冷等离子体模式可显著改善许多分析物的BECs,因此将其用于所有分析。

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