中科院微电子研究所 匀胶机旋涂仪KW-4A

型号：

KW-4A

产地：

北京

技术参数及要求：

基片尺寸： Φ 5 Φ 100mm 圆片，ZUI大 100 × 100mm 2 方片

转速： 50 0 8 000RPM

转速稳定性： 1%

旋涂均匀性： 1

旋涂工艺阶段： 2 段

旋涂时间：Ⅰ速 0 18S, ZUI大（ 0 60S ）；Ⅱ速 0 60S, ZUI大（ 0 180S

整机尺寸（ 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

电机功率： 40W

适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料

配套 无油真空泵参数：

型号： K W 550A/KW 550T

抽速： 1 .5 升 秒

功率： 3 20W

噪音： 50db

ZUI低真空度： 700mmHg

重量： 7.3 Kg

尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率： ：>60L/min

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装：否

保修期：1年

是否可延长保修期：否

保内维修承诺：质保一年

报修承诺：24小时回电

免费仪器保养：3月1次

免费培训：电话或者微信技术培训

现场技术咨询：无