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OLYMPUS IX53显微镜面议
人机工程学设计，操作方便
可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
宏观观察位置的zei优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
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