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产品名称： | Si上镀SiO2+Ti+Pt<111>薄膜(进口料) |
薄膜参数： | Si参数：P型，R;5-10ohm.cm SiO2参数：300nm Ti参数：10nm Pt <111>参数：150nm Pt薄膜最大热预算：< 700~750 degree C / 1 hr （Maximum Thermal Budget of Pt film)
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常规尺寸： | dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、单抛； |
| 数据图： |  |
标准包装： | 1000级超净室100级超净袋真空包装或者单片盒装 |
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