第3年
KYKY-EM6200钨灯丝扫描电子显微镜
KYKY ZQJ-2300氦质谱检漏仪
FF-40/25型脂润滑分子泵
小型离子溅射仪
KYKY-EM6900钨灯丝扫描电子显微镜
FF-160/700脂润滑复合分子泵
FJ-80型复合分子泵机组
- 型号：
- ZQJ-3000
- 产地：
- 德国
一、产品特点
操作方便：
体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单。
性能高：
采用了进口检漏仪专用分子泵与高性能的质谱系统，灵敏度高，测量范围宽，检漏压强高，响应时间快。
功能强大：
多种检漏模式自动切换，能够检测质量数为2,3,4的4He,3He以及H2，丰富的菜单设置选项，具有权限控制功能。
可靠性高：
采用抗氧化性强的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
多种接口：
具有RS232/485，外控IO，遥控器接口以及外部规管接口等用户接口。
二、应用领域
光电器件检漏、电厂、半导体工业、航空航天
三、技术指标
zui小可检漏率 | 5×10-13Pa.m3/s |
测量范围 | 12个数量级（10-13~10-1Pa.m3/s） |
zui大检漏压强 | 1800Pa |
响应时间 | 0.3秒 |
启动时间 | 小于3分钟 |
电源要求 | 230 V ±10% / 50 Hz或120 V ±10% / 60 Hz ，10A |
工作环境 | 温度10~35℃，相对湿度≤80% |
产品尺寸 | 550×460×304 mm (L×W×H) |
重量 | 44kg（油泵） 34kg（干泵） |
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
鲁公网安备37021402001368号