ZQJ-3000型氦质谱检漏仪应用于半导体工业

产地：

德国

型号：

ZQJ-3000

应用领域

氦质谱检漏仪的原理是通过分析氦原子的振荡频率来检测半导体产品中潜在的缺陷。它可以通过对氦原子的振荡频率进行精确测量，检测出半导体产品中可能存在的缺陷，从而节省生产成本。

产品特点

操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单。

性能高：采用了进口检漏仪专用分子泵与高性能的质谱系统，灵敏度高，测量范围宽，检漏压强高，响应时间快。

功能强大：多种检漏模式自动切换，能够检测质量数为2，3，4的4He，3He以及H2，丰富的菜单设置选项，具有权限控制功能。

可靠性高：采用抗氧化性强的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能。

多种接口：具有RS232/485，外控O，遥控器接口以及外部规管接口等用户接口。

技术指标

最小可检漏率（Pa•m³/s）：<5E^-13

检漏测量范围（Pa•m³/s）：5E^-13～1E^-1

检漏口最大压强（Pa）：1800

响应时间（s）：≤0.3

启动时间（min）：＜3

电源要求：230 VAC±10%/50 Hz或 120V±10%/60 Hz，10A

工作环境：温度10～35℃，相对湿度≤80%

外形尺寸L*W*H（mm）：550×460×304

重量Weight（kg）：44

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