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纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800

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产品详情

型号：: VS1800

产地：: 日本

产品介绍：

纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。

主要特点：

n 采用光干涉方式，非接触测量

n 3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量

n 自动粗糙度参数选择（ISO25178）

n 毫米级大面积测量

n 高精度测量（垂直方向分辨率0.01nm）

n 快速、高重复性测量

n 多层薄膜和薄膜内层缺陷分析

照明系统	卤素光源，波长530nm
相机	标准相机（640x480像素），高像素相机可选（1024x1024像素）
物镜	2.5x、5x、10x、20x、50x、110x可选
显微镜控制	Z轴马达控制
样品台	Type1，Tpye2，Type3
减震台	被动式减震台，主动式减震台可选
扫描器	机械马达扫描器，压电陶瓷扫描器可选
测量软件	VS-Measure，VS-Viewer等

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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