德国Xiton公司推出新型深紫外窄线宽激光器提升功率与线宽性能

来源：仪器仪表网作者：张大摄日期：2026-03-04 11:53:21

【仪器仪表网新品动态】德国Xiton公司在Ixion-193-SLM标准款基础上，推出两款新型深紫外全固态激光器：更高功率款平均功率由10mW提升至50mW，更窄线宽款线宽由<80MHz压缩至<60mhz、相干长度增至>2.5m。两款产品均具备操作简便（图形化软件界面）、适应24/7工业应用、窄线宽长相干长度、波长可定制（190-195nm）及调谐等功能。

深紫外全固态激光器

　　主要应用包括：高分辨率光谱仪校准；50mW功率款适用于科研级小尺度深紫外光刻，窄线宽可有效降低色差；作为准分子激光器种子注入源，提升光刻分辨率与良品率；凭借长相干长度，可用于深紫外干涉计量、无图型晶圆缺陷检测、膜厚检测及掩膜对准步进光学系统校准，为超精细半导体制程提供理想光源。

标签: 德国Xiton 深紫外激光器光谱仪

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