技术参数；
真空腔体
类型
高温型 室温到400℃
高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢
腔体内尺寸
Φ88mmX59mm
腔体外尺寸
Φ112X65mm
腔体重量
约2.6KG
腔体上视窗尺寸
Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口
可扩展KF16法兰 KF25法兰
腔体真空测量口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选
腔体电接口
5KV高压电极，10KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口，
腔体正压
≤0.1MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
制冷接口
无
3mm液氮管道
样品台
样品台材质
无氧铜（可选纯银热台）
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
样品台-视窗 距离
48mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
样品台测温传感器
PT100型铂电阻
样品台温度
高温型 室温到400℃
高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温50℃/min 大值
客戶订制的真空室都可通过我们的工程设计，与您现有的真空系统融合，成为一套功能完整的系统。也可以通过我们的工程设计，预留标准接口及装配位置，方便您日后增配或更换真空部件，实现系统的升级或功能的转换