返回主站|会员中心|保存桌面|手机浏览
23

天美(中国)科学仪器有限公司

新闻中心
  • 暂无新闻
产品分类
  • 暂无分类
站内搜索
 
友情链接
  • 暂无链接
首页 > 供应产品 > 纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800
点击图片查看原图
产品: 浏览次数:666纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800 
品牌: 日立
型号: VS1800
产地: 日本
单价: 1500000.00元/
zui小起订量:
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
有效期至: 长期有效
zui后更新: 2020-02-02 11:25
  询价
详细信息

产品介绍:

纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象,对微细的表面形貌进行测量,可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。

 

 

主要特点:

n  采用光干涉方式,非接触测量

n  3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量

n  自动粗糙度参数选择(ISO25178)

n  毫米级大面积测量

n  高精度测量(垂直方向分辨率0.01nm)

n  快速、高重复性测量

n  多层薄膜和薄膜内层缺陷分析

 

照明系统

卤素光源,波长530nm

相机

标准相机(640x480像素),高像素相机可选(1024x1024像素)

物镜

2.5x、5x、10x、20x、50x、110x可选

显微镜控制

Z轴马达控制

样品台

Type1,Tpye2,Type3

减震台

被动式减震台,主动式减震台可选

扫描器

机械马达扫描器,压电陶瓷扫描器可选

测量软件

VS-Measure,VS-Viewer等

 


注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

询价单
0条  相关评论