特点/应用
2至6英寸样品台
高真空腔体
防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
77K-675K高低温环境
兼容IV/CV/RF测试
外置多探针臂，移动行程大
经济实用，可无缝升级
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
◆ 腔体规格：
型号 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
样品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
样品固定 | 弹簧压片 |
观察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
真空度 | 10-6torr |
探针臂接口 | 4~6个探针臂接口 |
其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
制冷方式 | 液氮/液氦/制冷机 |
温度范围 | 77K到573K/4.5K到573K |
温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
外形 | 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 |
重量 | 约100千克/120千克 |
◆ 光学系统：
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
◆ 探针臂：
X-Y-Z移动行程 | 50mm*50mm*50mm |
结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 |
移动精度 | 10微米/1微米 |
线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
频率支持 | DC-67GHZ |
针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
◆ 其他组件：
真空组件 | 分子泵组/机械泵/离子泵 |
冷源组件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 |
◆ 可选附件：
超高温配件 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
高压测试配件 |
分子泵组 |
激光系统 |
气敏测试配件 |