美国AST 椭偏薄膜分析仪 SE200-MSP

型号：

SE200-MSP

产地：

美国

       椭圆偏振光谱仪主要用于精确测量薄膜厚度，光学常数，薄膜表面粗糙度以及其他的物理，化学，光学性能。美国AST公司设计和制造适合不同应用的高品质椭圆偏振光谱系统，其产品具有强大的分析功能软件TFProbe3.0，可以帮助研发或实验人员迅速地获得薄膜的厚度，表面粗糙度，合金成分和介电常数等数据。 

产品特点：

易于安装

基于视窗结构的软件，很容易操作

xian进的光学设计，以确保能发挥出zui佳的系统性能

能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度

高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内

基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

zui多可测量12层薄膜的厚度及折射率

能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数

系统配备大量的光学常数数据及数据库

对于每个被测薄膜样品，用户可以利用xian进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析

三种不同水平的用户控制模式：专家模式、系统服务模式及初级用户模式

灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试

健全的一键按钮(Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案

用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量

系统有着全自动的计算功能及初始化功能

无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行精确的校准

可精密的调节高度及倾斜度

能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片

各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求

2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

可用于微观区域选项的数字成像工具

对整个小区域可进行反射测量的整体式反射计

 

系统配置：

型号：SE200BA-MSP-M300

探测器：阵列探测器

光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

指示角度变化：可编程设定，自动可调

平台：ρ-θ配置的自动成像

软件：TFProbe 3.2版本的软件

整合了SE和MSP系列的优点

计算机：Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器

电源：110–240V AC/50-60Hz，6A

保修：一年的整机及零备件保修

 

基本参数：

波长范围：250nm到1000 nm

波长分辨率: 1nm

光斑尺寸：1mm至5mm可变

入射角范围：10到90度

入射角变化分辨率：0.01度

数字成像像素：130万

有效放大倍数：1200×

长物镜工作距离：12mm

MSP光速尺寸：2-500μm可调

样品尺寸：zui大直径为300mm

基板尺寸：zui多可至20毫米厚

测量厚度范围*：0nm〜10μm

测量时间：约1秒/位置点

精确度*：优于0.25％

重复性误差*：小于1 Ǻ

 

产品可选项：             

用于反射的光度测量或透射测量

用于测量小区域的微小光斑

高分辨率数字摄像头

用于MSP的超长物镜

X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)

加热/致冷平台

样品垂直安装角度计

波长可扩展到远DUV或IR范围

扫描单色仪的配置




应用领域：    

玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…）

半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)

液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）

医学，生物薄膜及材料领域等

油墨，矿物学，颜料，调色剂等

医药，中间设备

光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

半导体化合物

在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

非晶体，纳米材料和结晶硅

 


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注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途